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            技術文章

            1400℃三溫區真空氣氛管式爐

            技術文章

            產品概述:

            AFD-1400-60三溫區真空氣氛管式爐以硅碳棒為發熱元件;雙層風冷結構;高純氧化鋁纖維真空吸附次成型;高密度硅碳棒真空擠壓成型;剛玉管外徑為60、80mm。三個溫區分別由三個獨立的溫控系統來控制且都為PID30段程序化控溫??赏ㄟ^調節三個溫區的控溫程序使爐管內溫場形成溫度梯度,爐管兩端裝有不銹鋼法蘭,不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表,抽真空時真空度能夠達到10-3 Pa,此系列真空氣氛管式爐可以用CVD或PVD方法來生長納米材料和制作各種薄膜。

            主要用途:
            AFD-1400-60三溫區真空氣氛管式爐是高校、科研院所、工礦企業做高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD實驗、真空退火用的理想產品. ,廣泛用于電子陶瓷產品的預燒、燒結、鍍膜、高溫熱解低溫沉積(CVD)工藝等。

            技術參數:

            產品名稱

            1400℃三溫區真空氣氛管式爐

            產品型號

            AFD-1400-60

            工作溫度

            1300℃

            高溫度

            1400℃

            爐管尺寸

             Φ60mmX1000mm 

            樣品規格

            外型尺寸:860×470×720mm   (更多規格可根據用戶需求定制)

            溫控系統

            溫控方式:三個溫控系統單獨控制,都是采用PID方式調節30段可編程自動控制;

            溫控保護

            具有超溫及斷偶報警功能

            溫控度

            ± 1℃

            加熱速率

            0~20 ℃ / 分

            溫區長度


            每個加熱區200 mm包括20mm間距,總溫區長度: 600 mm 

            真空密封系統

            儀器標配中有套不銹鋼真空密封法蘭,出氣和進氣端都安裝有不銹鋼截止閥,真空度:10-2 torr (用機械泵 );10-5 torr(用分子泵 )

            加熱元件

            1500ºC硅碳棒 

            工作電壓

            AC 220V 單項 50 Hz

            大功率

            10KW

            氣  密  性

            4.03×10-3Pa

            測溫元件

            S型單鉑銠熱電偶測溫

            凈        重

            160 Kg

            爐        管

            高純度剛玉管

            爐殼溫度

            ≤45℃   

            提供相關配件

            真空泵、真空法蘭、真空表、塞磚

            電氣認證

            CE認證

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            12個月質保、終身保修

             

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